等離子廢氣處理的工作原理是流星雨狀的高能等離子與介質發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉化成基態(tài)介質的 內能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程是污染介質處于活化狀態(tài)。污染介質在等離子體的作用下， 產生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學反應后被脫離。當離子平均能量超過污染 介質中化學鏈結合能時，分子鏈段裂，污染介質分解，并在等離子廢氣凈化器吸附場的作用下被收集。